成都滲源科技助力西安晟光硅研半導體 SYZ-20L超純水系統成功投運

近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導體科技有限公司再次定制安裝的SYZ-20L實驗室超純水系統正式投入使用，為這家專業半導體材料研發企業提供了符合行業標準的超純水解決方案。

西安晟光硅研在半導體晶圓制備、材料表征等關鍵工藝環節對超純水質量要求極為嚴苛。針對半導體行業對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊要求，滲源科技設計的SYZ-20L系統采用"雙級反滲透+多通道"純化工藝，產水電阻率穩定達到18.25MΩ·cm（25℃）（在線監測），TOC含量≤20ppb，微顆粒物≤1個/mL，完全滿足半導體材料清洗、蝕刻等精密工藝的用水需求。

該系統具備終端微濾單元，保證使用水質的可靠性。滲源工程師團隊針對西北地區水質特點，強化了預處理單元，并優化了系統運行參數。智能控制系統可實時監測電導率、電阻率等關鍵水質指標，確保每一滴超純水都符合相關標準。

此次合作彰顯了滲源科技在半導體領域的技術實力。公司將持續為半導體行業提供更專業、更可靠的超純水解決方案，助力中國半導體材料產業創新發展。