成都滲源科技助力思瑞浦微電子 SYS-II-30L超純水系統成功投運
近日,成都滲源科技有限公司為思瑞浦微電子技術(蘇州)有限公司成功安裝SYS-II-30L實驗室超純水系統,為這家專業集成電路設計企業提供了符合半導體級標準的超純水解決方案。

思瑞浦微電子在高性能模擬芯片研發過程中,對晶圓清洗、測試等環節的超純水質量要求極為嚴苛。針對微電子行業對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊要求,滲源科技設計的SYS-II-30L系統采用"雙級反滲透+純化柱"工藝,產水電阻率穩定達到18.2MΩ·cm(25℃),電導率達1-5μs/cm,微顆粒物≤1個/mL,完全滿足芯片研發實驗室的精密用水需求。
該系統配備全封閉真空壓力儲水桶,有效保證純水、超純水水質,最大限度降低污染風險。滲源工程師團隊針對華東地區水質特點,優化了預處理單元和系統運行參數。智能控制系統可實時監測多項關鍵水質指標,確保每一滴超純水都符合標準。
此次合作彰顯了滲源科技在半導體領域的技術實力。公司將持續為集成電路行業提供更專業、更可靠的超純水解決方案,助力芯片產業創新發展。