西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司SYZ
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近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司完成SYZ-V-20L實驗室超純水系統(tǒng)的安裝調(diào)試，為這家專業(yè)半導(dǎo)體企業(yè)提供了符合SEMI標準的超純水解決方案。
晟光硅研在半導(dǎo)體晶圓制備、器件封裝等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對超純水質(zhì)量要求極為嚴苛。針對半導(dǎo)體行業(yè)對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊控制要求，滲源科技專業(yè)設(shè)計的SYZ-V-20L系統(tǒng)采用"雙級反滲透+紫外+終端微濾"純化工藝，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定達到18.25MΩ·cm（25℃），TOC含量≤10ppb，顆粒物≤1個/mL，完全滿足半導(dǎo)體精密制程的用水需求。
SYZ-V實驗室超純水機設(shè)備性能：
1.自動循環(huán)功能：在設(shè)置的時間間隙過程中進入自動循環(huán)，防止超純水受到第二次污染，影響出水口的超純水水質(zhì)；
2.報警提示功能：當(dāng)供水系統(tǒng)出現(xiàn)缺水、水箱液位過低、水質(zhì)不達標等有聲音提示和無聲文字報警等；
3.數(shù)據(jù)追蹤功能：儲存2年內(nèi)的設(shè)備使用數(shù)據(jù)，可追蹤查詢?nèi)∷畷r間、取水量、取水的水質(zhì)問題等數(shù)據(jù)；
4.定量取水功能：設(shè)備自帶定量取水計量校準功能；
5.耗材更換提示：系統(tǒng)具備耗材更換報警功能，在耗材達到一定時間年限或者耗材損耗過度時，都會有報警提示，保證實驗室用水水質(zhì)的可靠性；
滲源科技工程師團隊根據(jù)半導(dǎo)體潔凈車間要求，優(yōu)化了設(shè)備安裝方案，并對操作人員進行了專業(yè)培訓(xùn)。此次合作彰顯了滲源科技在半導(dǎo)體水處理領(lǐng)域的技術(shù)實力，公司將持續(xù)為行業(yè)提供更專業(yè)的超純水解決方案，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
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