成都滲源科技助力晟光硅研半導體SYR-100L純水系統成功投運
近日,成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導體科技有限公司完成SYR-100L實驗室純水系統的安裝調試,為這家專業半導體材料企業提供了符合行業標準的純水解決方案。

晟光硅研在半導體晶圓制備、材料檢測等關鍵工藝環節對純水質量要求極為嚴苛。針對半導體行業對金屬離子、TOC和顆粒物的特殊控制要求,滲源科技專業設計的SYR-100L系統采用"預處理+雙級反滲透"純化工藝,產水電導率穩定達到1-5μs/cm,完全滿足半導體材料清洗、蝕刻等工藝的用水需求。
該純水系統具備三大核心優勢:
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100L大容量儲水設計,滿足連續生產用水需求;
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采用四級預處理裝置,有效去除粒物質、鐵、錳、余氯、鈣、鎂及吸附有機物、異味等;
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雙級反滲透工藝,適應各種復雜的源水狀況,有效穩定產水品質;

滲源科技工程師團隊根據半導體車間環境特點,優化了設備布局和管路走向,并對操作人員進行了專業培訓。此次合作不僅解決了晟光硅研的生產用水需求,也為后續深度合作奠定了基礎。成都滲源科技將持續為半導體行業提供更專業的純水解決方案,助力中國半導體產業發展。